真空系統(tǒng)的自動(dòng)保護(hù)、監(jiān)測(cè)和控制對(duì)于防止系統(tǒng)故障至關(guān)重要，故障可能導(dǎo)致物料損失或生產(chǎn)停機(jī)時(shí)間延長(zhǎng)，從而造成高價(jià)值物料的損失風(fēng)險(xiǎn)，因此，應(yīng)提供充分的運(yùn)行控制和保護(hù)措施，特別是對(duì)于大型生產(chǎn)工廠。

防止系統(tǒng)出現(xiàn)故障的措施

    a)斷電時(shí)的保護(hù)措施：關(guān)閉所有閥門，防止空氣進(jìn)入真空容器，并保護(hù)擴(kuò)散泵。

    b)壓縮空氣管網(wǎng)中出現(xiàn)壓力下降時(shí)的保護(hù)措施：壓縮空氣由壓力監(jiān)測(cè)裝置進(jìn)行監(jiān)測(cè)。如果壓力降至規(guī)定值以下，會(huì)發(fā)送信號(hào)或自動(dòng)關(guān)閉閥門。

    c)擴(kuò)散泵的冷卻水供應(yīng)中斷時(shí)的保護(hù)措施：通過(guò)流量或溫度監(jiān)測(cè)裝置監(jiān)測(cè)冷卻水。如果冷卻水流量不足，擴(kuò)散泵的加熱器將關(guān)閉并發(fā)出信號(hào)；閥門將關(guān)閉。

    d)防止擴(kuò)散泵加熱器發(fā)生故障的保護(hù)措施：可通過(guò)繼電器監(jiān)控?cái)U(kuò)散泵加熱系統(tǒng)是否中斷。如果溫度升高到超出最大許可值，則溫度監(jiān)測(cè)裝置會(huì)作出響應(yīng)。在這兩種情況下，閥門都會(huì)關(guān)閉，并發(fā)出信號(hào)。

    在粗真空和中等真空系統(tǒng)中，壓力調(diào)節(jié)和控制通常通過(guò)執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)，該執(zhí)行器能夠改變提供給物理變量的能量供應(yīng)，進(jìn)而改變物理變量本身?？刂剖侵竿ㄟ^(guò)命令來(lái)影響系統(tǒng)或裝置，而調(diào)節(jié)則是將物理變量的實(shí)際值與規(guī)定的設(shè)定值不斷進(jìn)行比較，并在出現(xiàn)任何偏差時(shí)對(duì)其進(jìn)行調(diào)節(jié)。

    控制方法通?？煞譃殚g歇式控制和連續(xù)控制。間歇式控制會(huì)規(guī)定一個(gè)允許壓力變化的壓力窗口，而連續(xù)控制則是規(guī)定一個(gè)應(yīng)當(dāng)盡可能精確保持的壓力設(shè)定值。調(diào)整真空系統(tǒng)中的壓力可以通過(guò)改變抽取速度或放氣體進(jìn)入來(lái)實(shí)現(xiàn)。

    間歇式壓力調(diào)節(jié)雖然不如連續(xù)調(diào)節(jié)程序準(zhǔn)確，但在很多情況下，兩步或三步式調(diào)節(jié)可在所有真空范圍內(nèi)充分地滿足要求。連續(xù)壓力調(diào)節(jié)則需要使用電子控制器和執(zhí)行器，如壓電進(jìn)氣閥或膜片控制器。

    高真空系統(tǒng)和超高真空系統(tǒng)的壓力調(diào)節(jié)需要建立氣體移除和氣體輸入之間的平衡。在這些系統(tǒng)中，通常采用電子PID控制器控制進(jìn)氣來(lái)調(diào)節(jié)壓力。當(dāng)壓力低于10^-6mbar時(shí)，應(yīng)使用可耐高溫的全金屬進(jìn)氣閥執(zhí)行壓力調(diào)節(jié)。