氣密性檢測(cè)儀通過(guò)氦氣捕捉產(chǎn)品外殼細(xì)微缺陷,在檢漏領(lǐng)域的應(yīng)用,堪稱最為靈敏的方法,下面讓我們一起來(lái)了解下這一精密儀器的設(shè)計(jì)核心組件及其獨(dú)特特性。
氣密性檢測(cè)儀設(shè)計(jì)
氦氣檢漏儀由眾多組件組合:泵送系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)譜分析儀、控制系統(tǒng),現(xiàn)代檢漏儀的泵送系統(tǒng)由兩大核心組件構(gòu)成:前級(jí)泵與高真空渦輪分子泵。前級(jí)泵負(fù)責(zé)初步抽吸,使系統(tǒng)達(dá)到初步的真空狀態(tài),而高真空渦輪分子泵則進(jìn)一步將真空系統(tǒng)提升至質(zhì)譜分析儀所需的高真空狀態(tài)。
檢漏儀的性能與設(shè)計(jì)類型各異,容量越高,其產(chǎn)生工作所需真空的速度越快。選擇何種類型,需依據(jù)檢漏儀的預(yù)期運(yùn)行條件而定。對(duì)于一般工業(yè)應(yīng)用,兩級(jí)旋片泵因其性價(jià)比高而廣受歡迎。然而,在對(duì)大氣純度要求極高的行業(yè),如半導(dǎo)體制造,干燥或無(wú)油泵則成為首選,盡管其成本高昂。
緊湊型泵送系統(tǒng)(容量高達(dá)2m3/h)可內(nèi)置于檢漏儀主體內(nèi),而更大容量的則需安裝在特制的運(yùn)輸架上。通常,同一型號(hào)的檢漏儀配備單一類型的泵送系統(tǒng),原因是檢漏儀內(nèi)部空間有限,無(wú)法容納多種選擇。
真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)是檢漏儀的內(nèi)部空間,泵送系統(tǒng)在此創(chuàng)造并維持真空狀態(tài)。該系統(tǒng)由一系列管道、真空閥及傳感器構(gòu)成,泵送系統(tǒng)亦是其組成部分之一。產(chǎn)生并維持質(zhì)譜分析儀內(nèi)部的高真空狀態(tài),并確保氦氣從檢漏儀入口順利進(jìn)入。
根據(jù)設(shè)計(jì)類型,真空系統(tǒng)可分為整體式和復(fù)合式。整體式真空系統(tǒng)如同一塊帶有孔洞的整體金屬塊,真空傳感器、閥門(mén)及泵送系統(tǒng)元件均集成其中。優(yōu)點(diǎn)在于密封性高,體積緊湊,但缺點(diǎn)是維護(hù)性差,內(nèi)部清潔困難。
復(fù)合真空系統(tǒng)則由多個(gè)元件通過(guò)焊接和快速釋放夾連接而成,設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,易于維護(hù),在組裝時(shí)需特別注意密封性。氦氣檢漏儀多采用復(fù)合真空系統(tǒng)設(shè)計(jì),原因在于其客戶多為大型制造商,車間生產(chǎn)的檢漏儀真空系統(tǒng)常需拆卸和清潔。復(fù)合設(shè)計(jì)使得客戶人員能夠獨(dú)立進(jìn)行清潔、維護(hù),并在必要時(shí)更換故障部件。
檢漏儀中的電放大器位于真空中,這種設(shè)計(jì)使得放大器不易受到漏電流干擾,從而保證了檢測(cè)的準(zhǔn)確性。檢漏儀控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)協(xié)調(diào)所有系統(tǒng)的運(yùn)行,并提升用戶體驗(yàn)。其用戶界面設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔直觀,操作靈活多樣,提供自動(dòng)和手動(dòng)兩種操作模式。在自動(dòng)模式下,用戶可通過(guò)觸摸屏進(jìn)行操作,即使戴著防護(hù)手套也毫不影響。在手動(dòng)模式下,用戶則可使用薄膜鍵盤(pán),控制真空系統(tǒng)閥門(mén)的運(yùn)行等。