在評(píng)估物體的密封性能時(shí)，選擇測(cè)試方法是至關(guān)重要的。通常，測(cè)試過(guò)程分為兩個(gè)階段：整體密封性能評(píng)估和泄漏定位與修復(fù)。首先，對(duì)被測(cè)物體的整體密封性能進(jìn)行評(píng)估。如有必要，第二階段涉及定位泄漏，以確定發(fā)生泄漏的具體區(qū)域。在修復(fù)已識(shí)別的泄漏后，重復(fù)初始測(cè)試階段以確認(rèn)外殼的密封水平。

    為了獲得最佳結(jié)果，建議在測(cè)試過(guò)程中所有氣體流都通過(guò)泄漏檢測(cè)器。因此，建議測(cè)試氣體的分流不超過(guò)泄漏檢測(cè)器的允許工作流量，關(guān)閉輔助抽氣設(shè)施，并使所有氣體流通過(guò)泄漏檢測(cè)器。

典型的測(cè)試方案

    1.氦氣室和蓋板法：使用氦氣室和蓋板進(jìn)行測(cè)試。

    2.真空室（壓力室）法：在真空環(huán)境中進(jìn)行測(cè)試。

    3.真空杯法：使用真空杯進(jìn)行局部測(cè)試。

    4.腔室內(nèi)氣體累積法：在密封腔室內(nèi)累積測(cè)試氣體。

    5.探針?lè)ǎ菏褂锰结槞z測(cè)泄漏。

    如果總氣體流量不超過(guò)氣體流量發(fā)生器的最大允許流量，應(yīng)在達(dá)到預(yù)真空（0.1...1Pa）后立即關(guān)閉輔助泵。如果總氣體流量超過(guò)允許流量，則使用連續(xù)運(yùn)行的機(jī)械泵進(jìn)行測(cè)試。

高泄漏體積物體的測(cè)試

    當(dāng)需要最大化泄漏檢測(cè)器的進(jìn)氣量并最小化信號(hào)建立時(shí)間時(shí)，此方案適用于測(cè)試高氣體排放或高泄漏體積的物體。使用高真空泵（例如蒸汽泵）進(jìn)行輔助抽氣，可以在質(zhì)譜儀腔室內(nèi)實(shí)現(xiàn)較低的總壓力，不超過(guò)泄漏檢測(cè)器的最大工作壓力。這允許在泄漏檢測(cè)器的進(jìn)氣閥完全打開(kāi)的情況下進(jìn)行測(cè)試。

    探針測(cè)試法：

    此方法用于檢測(cè)充氣物體的泄漏。探針是一種具有導(dǎo)電性的抽吸裝置，確保流量為2?10?3...5?10?3m3?Pa/s。探針沿著充滿氦氣的測(cè)試物體表面移動(dòng)以檢測(cè)泄漏。

    真空杯法：

    此方法用于測(cè)試控制空白、開(kāi)口和充氣物體及其組件的熱性能。真空杯安裝在待測(cè)試的表面上，并從另一側(cè)供應(yīng)氦氣。

    質(zhì)譜控制技術(shù)：

    此技術(shù)用于在高通量檢測(cè)周期中測(cè)試小型產(chǎn)品。最近，渦輪分子泵越來(lái)越多地用于實(shí)現(xiàn)質(zhì)譜控制。這些泵具有以下優(yōu)點(diǎn)：測(cè)試準(zhǔn)備時(shí)間短（3...5分鐘），無(wú)需液氮，殘余氣體譜中沒(méi)有碳?xì)浠衔镎羝?，保護(hù)質(zhì)譜儀腔室免受空氣滲透，并且與重氣體相比，輕氣體的壓縮比要低得多。