真空系統(tǒng)的結構是影響其密封性和漏率的關鍵因素，結構的合理性直接關系到系統(tǒng)的密封性能和漏率。

    1.盡量避免小半徑死角，通過仔細研磨、拋光和清潔，確保過渡平滑。

    2.對排氣管道、供氣管道等與真空室的連接處采用圓弧過渡，以確保氣流順暢，同時考慮清潔的便利性。

    3.仔細設計真空室內各種接頭的結構，確保氣流順暢，防止堵塞。

    4.將真空系統(tǒng)的內表面拋光至高光澤，因為更亮的表面不易吸附氣體，有助于實現真空。

    5.盡量減小真空室的體積，縮短管道系統(tǒng)的長度。

    密封形式的選擇：

    密封形式的選擇取決于所需的真空度水平和具體的操作需求。

    水冷條件下的密封區(qū)域通常達到約80°C，部分部位甚至超過100°C。因此，必須選擇理想的密封材料。

    用于真空密封的橡膠材料必須表面光滑，無劃痕或裂紋。此外，它們應具有低滲透性和出氣率，優(yōu)異的耐熱性和耐油性，以及足夠的強度、硬度和彈性。