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真空檢測技術(shù)在半導(dǎo)體制造中的作用

在半導(dǎo)體制造中，真空控制產(chǎn)品在各工藝步驟中起著至關(guān)重要的作用，確保了生產(chǎn)電子設(shè)備所需的真空條件的精確控制。在晶體生長過程中，電容真空計(jì)系列可以控制生長腔內(nèi)的工藝壓力，從而實(shí)現(xiàn)無缺陷硅晶體的生長。這種精確的壓力控制對于實(shí)現(xiàn)最佳的晶體生長至關(guān)重要，有助于提高半導(dǎo)體材料的品質(zhì)和純度。 氧化/...