在氣體管道施工中，由于多種施工因素，管道連接處可能出現(xiàn)肉眼難以察覺的小孔，這在使用過程中可能導(dǎo)致泄漏問題。在微電子領(lǐng)域，如半導(dǎo)體和電子集成電路生產(chǎn)中，氣體管道輸送的超高純度電子氣體泄漏可能嚴重影響生產(chǎn)安全，因此泄漏檢測至關(guān)重要。

    泄漏檢測法是檢測高純度氣體管道泄漏的有效手段。其工作原理是在管道內(nèi)部形成真空，然后在外部噴射氦氣。氦氣若通過泄漏點進入管道內(nèi)部，測試儀將檢測到氦氣的存在，表明管道存在泄漏。由于氦氣分子極小，能夠滲透微小開口，該方法特別適用于檢測微小泄漏。

    具體檢測步驟如下：

    1.確保系統(tǒng)內(nèi)所有閥門和壓力調(diào)節(jié)閥完全打開。

    2.確認系統(tǒng)壓力為零，若系統(tǒng)處于正壓，需先排空氣體。

    3.緩慢開啟泄漏試驗機入口，開始抽真空，直至達到可測試狀態(tài)。

    4.記錄試驗機背景氦泄漏率，只有當(dāng)該值低于1×10^-9mbar.l/s時，才可進行下一步。

    5.從最近的焊縫或連接點開始，用噴槍噴射氦氣，讓其在該點停留一段時間，然后移至下一點，直至檢查完畢。

    6.若檢測到檢測儀指示器升高，等待其穩(wěn)定后，再次檢查以確認泄漏。若非焊縫或連接點泄漏，逆向檢查前一點直至找到泄漏源。

    7.檢查所有連接點后，繼續(xù)觀察檢測儀數(shù)約10分鐘，確認系統(tǒng)與檢測儀分離前無異常。

    8.若所有連接點的氦泄漏率均低于1x10^-9mbar.l/s，則系統(tǒng)泄漏率合格。測試人員應(yīng)將測試結(jié)果記錄在測試報告中。

    在高純度氣體管道測試過程中，必須確保測試環(huán)境清潔穩(wěn)定，避免外部因素干擾測試結(jié)果。此外，定期校準和維護檢測儀對于保證測試的準確性和穩(wěn)定性至關(guān)重要。