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高純度氣體管道氣密性試驗(yàn)案例

在氣體管道施工中，由于多種施工因素，管道連接處可能出現(xiàn)肉眼難以察覺(jué)的小孔，這在使用過(guò)程中可能導(dǎo)致泄漏問(wèn)題。在微電子領(lǐng)域，如半導(dǎo)體和電子集成電路生產(chǎn)中，氣體管道輸送的超高純度電子氣體泄漏可能嚴(yán)重影響生產(chǎn)安全，因此泄漏檢測(cè)至關(guān)重要。 泄漏檢測(cè)法是檢測(cè)高純度氣體管道泄漏的有效手段。其工作原理...