氣密性檢測(cè)儀真空泵主要功能是產(chǎn)生足夠的真空度，以便檢測(cè)泄漏現(xiàn)象，油潤(rùn)滑旋片真空泵是其中最常用的類型之一，其工作原理基于機(jī)械抽吸與注氣，一起來(lái)了解下吧。

油潤(rùn)滑旋片真空泵原理

    這種泵通過(guò)旋轉(zhuǎn)帶有凹槽的圓柱形轉(zhuǎn)子來(lái)實(shí)現(xiàn)工作介質(zhì)的移動(dòng)，轉(zhuǎn)子內(nèi)部嵌有金屬或石墨制成的葉片。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，腔體體積逐漸增大，氣體通過(guò)吸孔窗口進(jìn)入這些腔體。隨后，氣體被壓縮，并通過(guò)出口排出，從而實(shí)現(xiàn)抽氣過(guò)程。

    渦旋真空泵

    除了油潤(rùn)滑旋片真空泵，渦旋真空泵也是一種可行的選擇。它們同樣基于氣體壓縮原理，但采用渦旋轉(zhuǎn)子形成可變體積的腔室。這些泵通常體積更小、效率更高，并且能夠提供更高的真空度，使其在需要高精度測(cè)量的應(yīng)用中極具吸引力。

    真空法

    通過(guò)真空抽氣系統(tǒng)在測(cè)試對(duì)象內(nèi)部產(chǎn)生真空，同時(shí)從外部供應(yīng)測(cè)試氣體。檢漏儀與真空系統(tǒng)并聯(lián)運(yùn)行。當(dāng)發(fā)生泄漏時(shí)，氣體會(huì)進(jìn)入測(cè)試產(chǎn)品的空腔，并被檢漏儀檢測(cè)到。泄漏程度應(yīng)根據(jù)記錄的測(cè)試氣體流速來(lái)確定。

測(cè)試氣體施加方法

    從測(cè)試產(chǎn)品外部施加測(cè)試氣體的方法主要有兩種：

    1.密封外殼法：將測(cè)試品放置在充滿測(cè)試氣體的密封外殼或腔室中。此方法能夠確定通過(guò)對(duì)象的泄漏速率。

    2.吹掃法：適用于查找泄漏點(diǎn)，使用來(lái)自鋼瓶的加壓氣槍局部注入測(cè)試氣體。

如何選擇真空泵

    油潤(rùn)滑旋片真空泵與渦旋真空泵之間的選擇取決于多個(gè)因素，包括：

    檢漏儀的尺寸、所需的真空度、泵的速度、安全要求

泄漏檢測(cè)程序

    為了檢測(cè)真空系統(tǒng)中的泄漏，必須監(jiān)測(cè)受控區(qū)域中氦分子濃度的增加。首先，樣品量必須充分減壓，以確保檢漏儀（真空法）的正常運(yùn)行。如果樣品量較大，則使用最大壓力為1mbar的獨(dú)立預(yù)真空泵產(chǎn)生真空。對(duì)于小樣品量，可以使用內(nèi)置的檢漏儀抽真空系統(tǒng)直接抽空系統(tǒng)，以在檢漏室中產(chǎn)生最小壓力。

    在系統(tǒng)和分析室中達(dá)到所需的壓力后，便可開始泄漏檢測(cè)程序。如果系統(tǒng)中存在氦分子，當(dāng)它們進(jìn)入檢漏儀時(shí)，將被調(diào)諧到氦原子量的質(zhì)譜儀檢測(cè)到。此信息立即傳輸?shù)竭B接到檢漏儀的控制器，控制器隨后輸出記錄的泄漏值。最后，必須識(shí)別并消除被測(cè)系統(tǒng)中的故障，確保其達(dá)到預(yù)期的密封性能。